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TZM मिश्र धातु आयन आरोपण घटकों

रैखिक सूत्र: मो / 0.5% Ti / 0.8% Zr / 0.02% C

समारोह

रैखिक सूत्र:	मो / 0.5% Ti / 0.8% Zr / 0.02% C
भौतिक:	TZM मिश्र धातु
पवित्रता:	0.4-0.54% Ti, 0.06-0.12 %Zr, 0.01-0.04% C, शेष मो
आकार:	प्रति आरेखण

TZM मिश्र धातु आयन आरोपण घटकों विवरण

आयन आरोपण एक महत्वपूर्ण प्रक्रिया है जो व्यापक रूप से अर्धचालक उपकरण निर्माण, धातु परिष्करण और सामग्री विज्ञान अनुसंधान में उपयोग की जाती है। एक इम्प्लांटर सिस्टम का सबसे महत्वपूर्ण हिस्सा बीम पथ है जिसमें घटक लगे हुए हैं। यहां, आयनों को उत्पन्न, केंद्रित, त्वरित, और वेफर की ओर लक्षित किया जाता है। आयन आरोपण घटक अक्सर TZM मिश्र धातु, मोलिब्डेनम, टंगस्टन से बने होते हैं, क्योंकि इस सामग्री में संक्षारण प्रतिरोध, ताकत और उच्च थर्मल चालकता का संयोजन होता है और कठोर वातावरण में अच्छी तरह से प्रदर्शन कर सकता है।

TZM मिश्र धातु आयन आरोपण घटक गुण

● उच्च पिघलने बिंदु

● बकाया रेंगना प्रतिरोध

● उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध

● अच्छा विद्युत और तापीय चालकता

● बकाया शुद्धता

TZM मिश्र धातु आयन आरोपण घटकों अनुप्रयोगों और संबंधित उद्योगों

● अर्धचालकों के निर्माण के लिए उपयोग किया जाता है।

● उपकरण स्टील toughening और सतह परिष्करण के लिए धातु परिष्करण में प्रयोग किया जाता है।

● आयन बीम मिश्रण में प्रयोग करने के लिए वर्गीकृत इंटरफ़ेस प्राप्त करने और immiscible सामग्री के बीच आसंजन को मजबूत करने के लिए।

● कक्षों (टंगस्टन, मोलिब्डेनम और मिश्र धातुओं)

● फिलामेंट्स (टंगस्टन और टंगस्टन मिश्र धातु)